集成電路無塵車間設計施工要求

　　集成電路無塵車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

　　根據潔凈室車間空氣循環特點可以將潔凈室分為三種類型：循環空調機配合送風口系統、循環風機配合濕式密封系統和FFU循環系統。

　　*種形式在小規模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

　　第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。

　　第三種的FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為主要的凈化設計方案。

　　FFU循環系統的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU循環空氣的動力，將新風、循環風混合后通過過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產輔助區為集成電路制造廠務設備區域，包括電力供應、氣體和化學品供應、純水供應等。

　　集成電路制造對無塵車間環境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環境下，而化學機械研磨則只要求1000級的環境即可。

　　另外，集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關的規定和要求，尤其是振動的控制，在潔凈室的建筑結構設計上就要有所要求。

　　好的潔凈車間設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產安全可靠的保證。在3種潔凈系統中，FFU循環系統運行成本低，潔凈度安全性高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環系統。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區域內是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。

　　集成電路制造是高能耗的產業，而潔凈空調系統的能耗則占其中的30%以上，因此節能安全的潔凈室設計和各種熱能回收設計將是未來的發展方向。

　　隨著集成電路制造技術的不斷升級，主流大廠已經進入了納米時代，集成電路制造潔凈廠房的設計建造和節能創新也需要不斷提升，為制程產品生產保障。

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